光动激光干涉仪校准步骤

1、架设好激光头后，先将激光头的左右、俯仰、扭摆居中，再将光动激光干涉仪激光头调至水平，在激光头上安装好标准光闸。

2、将线性干涉镜和测量反射镜置于较近位置，调节光动激光干涉仪干涉镜与反射镜之间的相对位置，使反射回来的两束光线完全重合，调节三角架使重合后的反射光线进入回光孔，保证五个光强指示灯全亮。此处请勿大范围调节美国光动激光干涉仪激光头上的俯仰和扭摆旋钮，仅限微调

3、将线性干涉镜与测量反射镜距离最远，根据近、远端光线照射的位置，可判断出激光头发出光线的倾斜方向，扭摆三角架使激光头向倾斜方向的相反方向扭摆，再平移三角架使激光大致照射在干涉镜正中偏上1/2处。查看光闸，若无两束光线返回，则继续扭摆和移动三角架，直至两光点出现，并使两光点相距较近。

4、微调俯仰、扭摆，使两束反射光线完全重合。

5、通过升降三角架和调节光动激光干涉仪激光头的左右位置，使重合后的反射光束射入回光孔。

6、查看五个光强指示灯是否全亮，若无，请重复步骤2~5，直至近、远两端位置，五个光强指示灯全亮。

7、美国光动激光干涉仪安放补偿元件，进行线性测量。