技术前沿
S1000-扫描电镜放大倍率校准图形标准样品
2019-09-06


概述简介:

        普天同创(深圳)科技有限公司 为扫描电镜客户定制放大倍率标准样品。标样基质材料为单晶硅或石英玻璃基片,材料性质稳定。由德国联邦物理研究所(PTB)对线距均匀性进行测量认证。测量结果可直接溯源至米定义计量基准。


规格尺寸

        5mm×5mm×0.5mm(长×宽×厚)


产品描述

     . 主体图形为一“回”字形方框,分为4个象限,XY轴上为垂直坐标轴方向的线距20μm的短平行线条,

     . 4个象限上分别是线距为40μm、20μm、10μm的方格网状图形和线距为5μm的X、Y双向平行线条图形。

     . 内框中部又是“回”字形方框,大框和小框之间在X方向和Y方向上都有线距为5μm的平行线条,小框里面是线距为1μm或0.5μm的X、Y双向平行线条图形(如图)。在5μm和1μm或0.5μm的线距结构上还有一些十字形和圆点,可用于在较大放大倍率下图像的聚集和像散调整。不同的线距大小可用于从10×~100,000×放大倍率范围的校准,而把40μm、20μm和10μm的线距结构设计成方格形,是为了在对放大倍率进行准确校准的同时,可以对图像的畸变、像散等进行校验, 5μm和1μm/0.5μm的线距结构也同时具有X、Y两个方向的平行线条,是为了方便同时对X、Y两个方向进行放大倍率的校准而不必机械旋转标准器。


主要用途:

     . 可用于同时对任意两个垂直方向上的扫描电镜的图像的放大倍率进行检查或校正,是校准从10×~100,000×范围的图像放大倍率的最有效的图形标准样品
     . 可用于对图像的X、Y方向上的畸变和边缘的畸变进行校验,是评价扫描电镜图像质量的个重要工具
     . 可直接用于同一量级物体长度的精确比对测量
     . 对样品台倾斜角和电子倾斜以及旋转调整功能的检验也有较好的作用

     . 利用标样上的“点子”图像,可对电子束作漂移检验和样品台复位检验


使用方法:

     . 尽量使用较低的工作电压,如5KeV或更低
     . 尽量使用较小的束流,并避免对标准样品的长时间扫描
     . 注意,测量时必须选择“线周期”进行测量(即 Pitch),即一黑一白为“一根线”
     . 必须同时测量双向的距离,交角为90度
     . 测量的双向距离大约占图像的二分之一或三分之二
     . 同时,通常在适当倍率下,应测量3-5条线值的平均值;如我们在标样说明书中所示的照片那样

     . 可以直接参照标样说明书的那八张相近图像进行测量


注意事项:

        使用前应认真检查标准样品表面有无污染物和损坏,因为这会影响校准。请勿使用已破损或有污染物的标准样品!可用清洁干燥的空气或氮气清除标准样品上的灰尘、碎片或其他污染物,注意不要损坏标准样品。有条件的实验室应不定期地通过与其他标准样品的对比来检查标准样品的特性和用法来确定其检查频率。
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