扫描电镜 电子探针

S1000 放大倍率标准样品(扫描电镜、电子探针)
产品简介:该标样用于扫描电镜(包括电子探针等)仪器主要性能的校验和检验,如图像的放大倍率检验与调整、扫描图像畸变的调整、像散调节以及样品台的复位检验等,是扫描电镜仪器验收、仪器年度检验、计量认证、实验室认可等考核中,最必不可少的标准样品。同时,该标准样品也是扫描电镜微米纳米长度精确测量的最佳标准样品、是微米长度测量的最高可溯源级别的量值传递工具。是多个国家标准文件GB/W 27788、16594、17722、20307、JJG550等实施所必需的标准样品。
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 > >  特点:

1、拥有最现代的加工工艺,研制技术本身具有足够的精度等保证其质量
2、底层镀有纯钛层,表面有120nm厚的Au膜,可称之为拥有特厚金层,不仅可长
期稳定保存,而且具有极其良好的导电性
3、具有格栅状双向结构,与早期使用的初级铜网结构相似,   是国内外唯一的可以同时对任意两个垂直方向上的扫描电镜、电子探针的图像的放大倍率进行检查或校正的标样
4、有德国PTB国际最权威的计量型原子力显微镜的测量研究报告和研制者的研制报告正式发布(见“扫描电镜测长问题的讨论”一书),即采用目前精度最好、可溯源的检测方法,有可靠的文献依据
5、S1000曾经过我国国家计量研究院的多次检验测试,并多次获得合格证书;
6、S1000早在2005年通过全国微束标委会的有关专家评审通过,具备报批国家标准样品的资格,并且已经过众多用户近十年的使用,证明其质量优良
7、公开出版的“扫描电镜测长问题的讨论”专著实际上是一本S1000的综合性的研制报告;这也是这类标样中的唯一;
8、价格低廉,易于保存、易于普及到每个扫描电镜和电子探针实验室
9、功能多,用途多
(1)可用于同时对任意两个垂直方向上的扫描电镜的图像的放大倍率进行检查或校正,是校准从10×~100.000×及以上范围的图像放大倍率的最有效的图形标准样品:是执行GB/T27788“微束分析一扫描电镜一图像放大倍率校准导则”一个精准的校准标样
(2)可直接用于同一量级物体,毫米量级到纳米量级长度的精确比对测量,是执行GB/T16594和GB/T20307微米和纳米测量的一个不能缺少的精准的度量工具
(3)可用于对图像的X、Y方向上的畸变和边缘的畸变进行校验,是评价扫描电镜图像质量的一个重要工具
(4)对样品台倾斜角和电子倾斜以及旋转调整功能的检验也有较好的作用

(5)利用标样上的“点子”图像,可对电子束作漂移检验和样品台复位检验

用途:
(1)可用于同时对任意两个垂直方向上的扫描电镜的图像的放大倍率进行检查或校正,是校准从10×~100,000×范围的图像放大倍率的最有效的图形标准样品
(2)可用于对图像的X、Y方向上的畸变和边缘的畸变进行校验,是评价扫描电镜图像质量的个重要工具
(3)可直接用于同一量级物体长度的精确比对测量
(4)对样品台倾斜角和电子倾斜以及旋转调整功能的检验也有较好的作用
(5)利用标样上的“点子”图像,可对电子束作漂移检验和样品台复位检验

标准样品的形状、规格和包装:
S1000微米一亚微米级系列标样,总体为5mm×5mm0.5mm(长×宽×厚)大小的小方块。主体图形为一个“回”字形的方框,最外框边长约为2mm,内框的边长约为12mm,内框里面用X、Y轴分为4个象限,X、Y轴上制作有垂直坐标轴方向的线距20um的短平行线条,4个象限上分别是线距为40um、20um10um的方格网状图形和线距为5um的X、Y双向平行线条图形,内框的中部又是“回”字形的方框,大框的边长约为160m,小框边长约50um,大框和小框之间在X方向和Y方向上都有线距为5um的平行线条,小框里面是线距为1um或05um的X、Y双向平行线条图形(见图1),在5m和1um或05um的线距结构上还有一些十字形和圆点,可用于在较大放大倍率下图像的聚集和像散调整,不同的线距大小可用于从10×~10000放大倍率范围的校准,而把40um、20μm和10um的线距结构设计成方格形,是为了在对放大倍率进行准确校准的同时,可以对图像的畸变、像散等进行校验,5μm的线距结构也同时具有X、Y两个方向的平行线条,是为了方便同时对X、Y两个方向进行放大倍的准而不必机械旋转标准器。
标准样品的稳定性:
标准样品基质材料为单晶硅或石英玻璃基片,材料性质稳定。在对标准样品进行观察时,可看到标准样品具有良好的导电性,并且在扫描电镜下所产生的图形具有很好的对比度,在扫描电镜下或光学显微镜下进行多次长时间的观察后,未见标准样品图形或线距结构发生变形或其他损坏,即标准样品在电子束重复照射下是稳定的。

标准样品的均匀性
本系列标准样品的片内线距均匀性由德国联邦物理研究所(PTB)使用一台大范围计量型扫描力显微镜( M-LRSFM进行测量,40um、20um、10um和5um的线距结构的相对标准偏差分别为<0.15%、<0.25%、<0.3%、<0.5%和<1%;片间线距的均匀性送国家有色金属及电子材料分析测试中心扫描电镜实验室进行检查,随机取10个标准样品,在相同扫描电镜工作条件下获取每个标准样品上每种线距结构的图像,在每个图像上的不同位置取若干个线距周期测量4个长度数据,

其测量结果标准偏差分别为:<0.39%、<0.19%、<0.21%和<0.19%
标准值和置信限:

本系列标准样品的线距值由德国联邦物理研究所(PTB)使用一台大范围计量型扫描力显微镜(M- LRSFM)进行测量,测量结果可直接溯源至米定义计量基准。各线距结构的测量值分别为:400006±42nm(X方向)、400018±4.2nm(Y方向)、200004±1.8nm(X方向)、200000±1.8nm(Y方向)、100002±0.5mm(X方向)、100000±0.5mm(Y方向)、500000.6mm(X方向)、50003±0.6mm(Y方向)、1000.4±0.7nm(X方向)1000.4±0.7mm(Y方向),置信限为95%,k=2。

测试:

测量范围:线间隔结构—(0-50)μm

不确定度/准确度等级:U=(1+2*10-3*p)nm,k=2(P-nm)

样板外观:良好

测量方位:对样块中指定量值的栅格间距区域,进行多次重复测量

测量区域

A

B

C

D

E1

E2

标称值/μm

40

20

10

5

2

1

X方向校准指/nm

39993

20052

10011

5033

1998

994

Y方向校准值/nm

40074

20049

10000

5042

2003

1001

95/nm

50

31

11

8

4

2