S1000-扫描电镜放大倍率校准图形标准样品

概述简介：

        普天同创（深圳）科技有限公司 为扫描电镜客户定制放大倍率标准样品。标样基质材料为单晶硅或石英玻璃基片，材料性质稳定。由德国联邦物理研究所（PTB）对线距均匀性进行测量认证。测量结果可直接溯源至米定义计量基准。

规格尺寸：

        5mm×5mm×0.5mm（长×宽×厚）

产品描述：

     ○. 主体图形为一“回”字形方框，分为4个象限，X、Y轴上为垂直坐标轴方向的线距20μm的短平行线条，

     ○. 4个象限上分别是线距为40μm、20μm、10μm的方格网状图形和线距为5μm的X、Y双向平行线条图形。

     ○. 内框中部又是“回”字形方框，大框和小框之间在X方向和Y方向上都有线距为5μm的平行线条，小框里面是线距为1μm或0.5μm的X、Y双向平行线条图形（如图）。在5μm和1μm或0.5μm的线距结构上还有一些十字形和圆点，可用于在较大放大倍率下图像的聚集和像散调整。不同的线距大小可用于从10×～100,000×放大倍率范围的校准，而把40μm、20μm和10μm的线距结构设计成方格形，是为了在对放大倍率进行准确校准的同时，可以对图像的畸变、像散等进行校验， 5μm和1μm/0.5μm的线距结构也同时具有X、Y两个方向的平行线条，是为了方便同时对X、Y两个方向进行放大倍率的校准而不必机械旋转标准器。

主要用途：

     ○. 利用标样上的“点子”图像，可对电子束作漂移检验和样品台复位检验

使用方法：

     ○. 可以直接参照标样说明书的那八张相近图像进行测量

注意事项：